氢氟醚
CL7100 CL7200
产品简介
氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs理想替代品。
除优良的环境性质外，氢氟醚还具有优秀的热稳定性和化学稳定性、适度的溶解性、毒性低、无腐蚀性、不燃、不产生烟尘、材料兼容性好等特点，易于贮藏和运输，被广泛应用于医疗、电子、金属、精密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域。
氢氟醚7100和7200作为美国环境保护部(EPA) 确定的氟利昂替代物清单 (SNAP) 清单中的清洁剂和冷媒，被指定为Acceptable (可无限制使用) ，且已被EPA排除在挥发性有机化合物(VOC) 之列。可用于精密仪器、电子、半导体、高端医疗设备、航空航天等制造行业。
产品应用
清洗剂清洗剂 用作清洗剂，该系列产品具有渗入复杂部件微小空隙的能力，可用于清洗精密电子零件的颗粒杂质，清洗FOUPs (前开式标准晶圆盒) , 清洗LCD/OLED显示器、光学零件及镜片，清洗半导体刻蚀腔体及零件，清除氟素残留堆积物，清洗汽车引擎零件，清洗航空引擎、输氧管路设备，清洗医疗设备零件等；
溶剂用作溶剂，可用作气密性测试和耐电压测试的媒介物，电子涂层、屏幕涂层稀释剂，氟油、氟树脂、氟涂层稀释剂，反应溶媒以及分析用萃取溶剂等；
冷媒用作冷媒，可用于干法刻蚀装置、光刻装置、离子喷射装置、探头及信息处理装置的控温冷媒，数据中心沉浸式冷媒，功率器件沉浸式冷媒等。
技术参数
| 性能参数 | 单位 | CL7100 | CL7200 | |
|---|---|---|---|---|
| 材料描述 | 成分 | C₄F₂OCH₃ | C₄F₅OC₂H₅ | |
| Cas号 | 163702-08-7 | 163702-06-5 | ||
| 分子量 | g/ mol | 250 | 264 | |
| 纯度 | % | 99.5 | 99.5 | |
| 非挥发物质含量 | ppm | <2.0 | <2.0 | |
| 外观 | 无色透明 | 无色透明 | ||
| 理化性质 | 沸点 | ℃ | 61 | 76 |
| 倾点 | ℃ | -135 | -138 | |
| 临界温度 | ℃ | 195 | 210 | |
| 临界压力 | Mpa | 2.23 | 2.01 | |
| 蒸汽压 | mmHg | 202 | 109 | |
| 蒸发潜热 | KJ/ Kg | 112 | 119 | |
| 液体密度 | g/cm3 | 1.520 | 1.430 | |
| 比热容 | J/ Kg-K | 1183 | 1220 | |
| 热导率 | W/m-K | 0.068 | 0.069 | |
| 溶水性 | ppmw | 95 | 74 | |
| 介电强度0.1" gap | kV | >25 | >25 | |
| 介电常数@1kHz | 。 | 7.52 | 7.35 | |
| 体积电阻率 | Ohm- cm | 108 | 108 | |
| 环保与安全 | 臭氧层破坏潜值ODP | 0 | 0 | |
| 温室效应潜值GWP | 297 | 59 | ||
| 大气寿命 | Year | 4.1 | 0.77 | |
| 闪点 | ℃ | 无 | 无 | |
| 在空气中的可燃范围 | 无 | 2.4-12.4% | ||
| 安全暴露极限TWA | ppm | 750 | 200 | |
